仪器介绍 椭圆偏振法测量的原理很早就已提出，相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新，使得椭圆偏振法成为重要的测试手段，并广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域。其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法基本和重要的应用之一 。自动椭圆偏振测厚仪